朗道燧岩工博会首展EUV光源样机
先了解这件事
朗道燧岩在2026年上海中国国际工业博览会上首次公开展示极紫外（EUV）光源样机FlintNano LPP-OXXO。公司工作人员称其国产化率达90%，绝大多数核心零部件为自主研发，技术路线与国际领先厂商一致，可用于芯片曝光测试；但该系统距量产仍需3至5年，主要挑战是提升输出功率与长期运行稳定性。 样机采用激光等离子体（LPP）方案，配备1000W驱动激光，重复频率1至20kHz，转换效率超过2%，公司称可连续运行100小时以上。Tom's Hardware称，其EUV输出超过15W，该数值可能是在等离子体处而非中间焦点测得，公司尚未展示完整的EUV收集系统；输出功率仍不足以支撑大规模芯片量产。 据TrendForce援引多方消息，该技术还需三到五年才能商业化，且光源本身并不等于完整的EUV光刻机。
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事件进展
2 个进展
- 10月17日 00:30 · 2 篇报道中国初创公司展示EUV光源原型TechPowerUp：中国初创公司朗道斯莱克斯发布首款国产 EUV 激光光源 FlintNano LPP-OXXO
- 10月14日 15:16 · 1 篇报道朗道燧岩工博会首秀EUV光源样机IT之家：朗道燧岩 EUV 光源系统样机亮相 2026 工博会：国产化率 90%，距量产仍需 3~5 年
报道时间线
沿着报道，了解事件的不同侧面。
- TechPowerUp中国初创公司朗道斯莱克斯发布首款国产 EUV 激光光源 FlintNano LPP-OXXO
中国初创公司朗道斯莱克斯展示首款自主研发的极紫外（EUV）激光光源 FlintNano LPP-OXXO，据称 EUV 输出功率超过 15 W，约 90% 组件为国产或自研。该系统采用激光等离子体（LPP）方案，配备 1,000 W 驱动激光，重复频率 1 至 20 kHz，转换效率超过 2%，公司称可连续运行 100 小时以上，原型可用于晶圆曝光测试。该公司预计还需三到五年才能量产。
- Tom's Hardware中国初创公司浪道丝励展示 EUV 光源原型，输出功率超 15W
中国初创公司浪道丝励在上海第 26 届中国国际工业博览会上展示了一款 EUV 光源原型，输出功率超过 15W、零部件国产化率 90%，采用激光等离子体（LPP）技术。据 TrendForce 援引多方消息，该技术还需三到五年才能商业化，且光源本身并不等于完整的 EUV 光刻机。
- IT之家朗道燧岩 EUV 光源系统样机亮相 2026 工博会：国产化率 90%，距量产仍需 3~5 年
朗道燧岩在 2026 年工博会上首次展示极紫外（EUV）光源系统样机，现场工作人员称该样机国产化率达 90%，绝大多数核心零部件为自主研发，可用于芯片曝光测试。官网显示其 FlintNano LPP-OXXO 驱动激光功率 1000W、EUV 能量大于 15W、持续工作时间超 100 小时。工作人员坦言该系统距量产仍需 3 至 5 年，主要挑战是提升输出功率与长期运行稳定性。
本事件热度走势
- 可比范围当前
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- 2010月17日 02:00
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