中国初创公司朗道斯莱克斯发布首款国产 EUV 激光光源 FlintNano LPP-OXXO

中国初创公司朗道斯莱克斯展示首款自主研发的极紫外（EUV）激光光源 FlintNano LPP-OXXO，据称 EUV 输出功率超过 15 W，约 90% 组件为国产或自研。该系统采用激光等离子体（LPP）方案，配备 1,000 W 驱动激光，重复频率 1 至 20 kHz，转换效率超过 2%，公司称可连续运行 100 小时以上，原型可用于晶圆曝光测试。该公司预计还需三到五年才能量产。