中国初创公司浪道丝励展示 EUV 光源原型，输出功率超 15W

中国初创公司浪道丝励在上海第 26 届中国国际工业博览会上展示了一款 EUV 光源原型，输出功率超过 15W、零部件国产化率 90%，采用激光等离子体（LPP）技术。据 TrendForce 援引多方消息，该技术还需三到五年才能商业化，且光源本身并不等于完整的 EUV 光刻机。