朗道燧岩 EUV 光源系统样机亮相 2026 工博会：国产化率 90%，距量产仍需 3~5 年

朗道燧岩在 2026 年工博会上首次展示极紫外（EUV）光源系统样机，现场工作人员称该样机国产化率达 90%，绝大多数核心零部件为自主研发，可用于芯片曝光测试。官网显示其 FlintNano LPP-OXXO 驱动激光功率 1000W、EUV 能量大于 15W、持续工作时间超 100 小时。工作人员坦言该系统距量产仍需 3 至 5 年，主要挑战是提升输出功率与长期运行稳定性。