朗道燧岩工博会首展EUV光源样机

朗道燧岩在2026年工博会上首次公开展示极紫外（EUV）光源系统样机，现场工作人员称该样机国产化率达90%，绝大多数核心零部件为自主研发，技术路线与国际领先厂商一致，可用于芯片曝光测试。 官网显示样机型号为FlintNano LPP-OXXO，驱动激光功率1000W、EUV能量大于15W、持续工作时间超100小时。工作人员表示，该系统距量产仍需3至5年，主要挑战是提升输出功率与长期运行稳定性。

AI 根据报道生成 · 2 小时前更新

还没有足够的连续观测数据，暂不绘制趋势。